电子厂净化工程中的检测步骤
2022-07-05

今天迈拓净化科技和大家一起来分享下关于电子厂净化工程中的检测步骤有哪些,赶紧随着小编一起来详细看下吧!

具体的检测步骤有:

1、将净化车间内被测房间的温度控制在设计温度范围内,并保持稳定。

2、在净化车间单独房间的中央位置设置一个温度计(低指示值0.1℃),记录测试过程中室内温度的变化。

3、关闭并固定房间围护结构的所有门、传递窗、外围门和气密阀。

电子厂净化工程

4、通过外壳结构的套管安装压力表(量程可达760Pa,小指示值为10Pa)。

5、在真空泵或抽风机与房间之间的管道上安装球阀,以保证真空泵或抽风机与被测房间在达到实验压力后能密封。

6、将待测房间与真空泵或排风扇连接,使房间与室外的负压差达到500pa。待压差稳定后,关闭房间与真空泵或排气扇之间的阀门。

7、每分钟记录一次压差和温度,连续记录至少20min。

8、断开真空泵或鼓风机,慢慢打开球阀,使室内压力恢复正常。

9、如果需要重复测试,请在 20 分钟后进行。

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